(주)한국메가와트 반도체 장비용 핫프레이트의 종류와 용도
 

 ◈ 원형 핫 플레이트 (HOT PLATE)

핫 플레이트 (HOT PLATE)는  고순도 알미늄 원판을
   정밀 가공하여 튜브라 히터를 홈에 삽입시켜 제작
   되며 플레이트 표면의 균일한 열분포가 중요하며
   아노다이징, 니켈, 크롬 등, 기타 플라즈마코팅 표면 처리도
   가능하다.

반도체 웨이퍼 제조시 가열 및 건조
LCD (액정) 디스플레이 기판 가열
CVD ,플라즈마 에칭의 가열
기타 전자부품 가열 및 건조

 

 

 ◈ 원형 핫 플레이트 뒷면

 ◈ 사각 핫 플레이트 (HOT PLATE)

 

 

 ◈ 원형 핫 플레이트 내부(튜브라 히터 삽입)

 ◈ 사각 핫 플레이트 뒷면 (튜브라 히터 삽입)